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关于原子沉积模拟(Cu在Si衬底上沉积)无法观察到Cu的晶相结构问题

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发布时间: 2025-9-29 22:49

正文摘要:

我在模拟铜(Cu)在硅(Si)衬底上的沉积行为时,利用OVITO的Polyhedral template matching功能观察不到Cu的晶相结构,观察到的只有无晶相结构(如下图所示)。 我用的Cu-Cu之间作用势为eam/fs势、Si-Si之间作用 ...

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