金属氧化物机器学习力场模拟ALD过程方法求助

lkjmod

   各位大佬：
   我自己训练了一个金属氧化物的机器学习力场（包含金属元素和O），计划模拟一个ALD的过程，但总所周知，ALD步骤包含前驱体，水等物质（其中前驱体可能含有Cl、C、H等元素，水含有H元素），显然机器学习力场不能囊括如此众多的元素故无法还原模拟ALD逐层生长的过程。
   我现在采用的生长方法是表面按照化学计量数随机位置沉积金属原子和氧原子的过程，但显然这样的模拟情况与真实的逐层生长的模式相去甚远，想请问各位大佬有什么方法可以尽量贴近实际ALD的模拟方法呢，比如动力学蒙特卡洛模拟等等，想请各位大佬提点一下。